研磨是精密模具加工的重要步骤

半导体精密模具材料和热处理控制。

通过对模具进行热处理，不仅可以获得所要求的材料硬度，还可以在加工过程中保证零件的加工精度和尺寸稳定性。针对零件材质及结构特点，有不同的热处理方法。对零件热处理内应力进行控制，制定热处理工艺。对淬火、淬火、脱碳都要充分考虑过热敏感度，对薄壁件采用压淬法。

(1)精密模具加工材料选用：CrWMn.Cr12.40Cr.GCr15.Cr12MoV.9Mn2V硬质合金，对某些工作强度大、压力大的凹模或凸模，可选用具有高热稳定性、组织状况良好的合金钢S2.S3.V10.G4.G8等合金材料。

(2)淬火后去应力处理：淬火后工件保留内应力，易引起随后的工件尺寸变化甚至裂纹。所以，淬火后零件应趁热回火，除去复杂淬火应力的复杂性。内角较大的工件，其回火不能全部除去淬火应力。精加工前需进行去应力退火或多次及时处理，充分释放应力。

半导体精密模具的磨削控制。

研磨是精密模具加工的重要步骤。对研磨变形、磨削裂纹进行严格控制，并对表面微观裂纹进行控制。制订精密磨削工艺时，应考虑下列因素。

(1)选用磨砂轮：PA铬钢玉砂轮和GC绿碳化硅砂轮可根据模具材料的高钨、高钒、高钼、高合金和高硬度选用；用有机粘结剂制作的金刚石砂轮具有较好的自磨性，其磨削精度达到IT5以上，磨削精度达到Ra=0.16um。CNC成形磨床、坐标磨床、CNC内外圆磨床都使用CBN立方氮化硼砂轮精加工，效果优于其他砂轮。打磨时，要及时对砂轮进行修整，使其锋利。随着砂轮的钝化，工件表面会滑脱，刮伤挤压，烧损工件表面。微小的裂隙，影响加工精度。

(2)进刀量选择：精密磨削进刀量小，冷却充分，尽量选用冷却剂介质，加工余量在0.01mm以内的零件应进行恒温磨削。

(3)工件夹持：轴类零件具有由多个旋转表面组成。内外圆磨床的磨削工艺一般采用精密加工法。本机的夹头及尾架顶部用来夹持定位件或尾端定位工件。这时夹头与上心的连接为磨削后工件的中心线。若中心线跳动，精密模具加工后工件同轴度不能满足要求。所以，在加工前，要进行夹头和顶心的同心检验。

EDM加工的控制。

(1)线切割准备：线切割用精密慢线切割机床，加工精度±0.001mm，粗糙度ra=0.2um。选用高离子度的去离子水线切线，垂直度符合加工精度要求。张力适中。

切削用丝材，适合于工件料的切割，保证了合理的加工速度。

(2)工艺路线设计：在加工过程中，线切割会破坏材料原有的应力平衡，造成转角部位应力集中集中。利用矢量平移原理，在精加工前留出0.8~0.9mm余量，预加工出型腔形状，然后进行热处理，使加工应力尽可能释放，以保证热稳定性。用四次裁剪的凸模。应合理选择切割线的位置和路径。初次入刀后，工件不处于悬壁状态，始终保持良好的受力状态，不影响后续加工；坯料穿孔，加工效果好于外型切削。

(3)ECM加工工艺：在电火花成形加工过程中，应分别制成粗精电极。CNC数控机床加工精密电极。Cu-W合金电极综合性能良好，电极损耗小于铜电极。当排屑性好时，材料和截面复杂形状的零件较难加工，Ag-W合金电极比Cu-W合金电极用于精密加工；石墨电极选择损耗小、硬度高、电蚀速度快、表面粗糙度低的进口石墨电极。在放电处理结束之前，应定期进行修整，除去表面形成的硬化层。